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... Ein physikalischer Grund für vermeindlich niedrige Abscheideraten bei HPPMS-Plasmen Stanislav Mráz, 1 Jens Emmerlich, 1 Stephanos Konstantinidis, 1,2 Rony Snyders, 1,2 Kaiyun Jiang, 1 Michel ...
Kaiyun Jiang; RWTH Aachen Growth and characterization of Al 2O 3 thin films synthesized by PECVD (1.9 MB) 12.45. I.-M. Eichentopf; IOM Leipzig
Jens Emmerlich, 1. Stephanos Konstantinidis, 1,2. Rony Snyders, 1,2. Kaiyun Jiang, 1. Michel Hecq, 2,3. und Jochen M. Schneider. 1. 1 ... uni-leipzig.de
Thomas Gebhardt: Carolin Hostert, M.Sc. Kaiyun Jiang, M.Sc. Yan Jiang, M.Sc. Dipl.-Ing. Farwah Nahif: Dipl.-Ing. Stephanie Schaefer: Tetsuya Takahashi, M.Sc. rwth-aachen.de
Jens Emmerlich, 1. Stephanos Konstantinidis, 1,2. Rony Snyders, 1,2. Kaiyun Jiang, 1. Michel Hecq, 2,3. und Jochen M. Schneider. 1. 1 ... uni-leipzig.de
Kaiyun Jiang; RWTH Aachen Growth and characterization of Al 2O 3 thin films synthesized by PECVD (1.9 MB) 12.45. I.-M. Eichentopf; IOM Leipzig
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